等離子體發射光譜儀是多元素順序測量的分析測試儀器，可以全波段同時測量，所以可選擇不同的波長輕易避免光譜干擾。通過檢測器探測特征譜線并檢測其強度，可以定性分析元素和定量計算該元素的濃度。
 

　　等離子體(Plasma)在近代物理學中是一個很普通的概念，是一種在一定程度上被電離(電離度大于0.1%)的氣體，其中電子和陽離子的濃度處于平衡狀態，宏觀上呈電中性的物質。
 

　　矩管外高頻線圈產生高頻電磁場，高純氬氣在高頻電磁場中失去電子，該電子轟擊待測樣品，樣品的各元素產生躍遷，發射出具有一定的特征譜線的光。通過檢測器探測這種特征譜線并檢測其強度，可以定性分析元素和定量計算該元素的濃度。
 

　　電感耦合等離子體(ICP)是由高頻電流經感應線圈產生高頻電磁場，使工作氣體形成等離子體，并呈現火焰狀放電(等離子體焰炬)，達到10000K的高溫，是一個具有良好的蒸發-原子化-激發-電離性能的光譜光源。
 

　　而且由于這種等離子體焰炬呈環狀結構，有利于從等離子體中心通道進樣并維持火焰的穩定;較低的載氣流速(低于1L/min)便可穿透ICP，使樣品在中心通道停留時間達2~3ms，可*蒸發、原子化;
 

　　ICP環狀結構的中心通道的高溫，高于任何火焰或電弧火花的溫度，是原子、離子的最佳激發溫度，分析物在中心通道內被間接加熱，對ICP放電性質影響小;
 

　　ICP光源又是一種光薄的光源，自吸現象小，且系無電極放電，無電極沾污。這些特點使ICP光源具有優異的分析性能，符合于一個理想分析方法的要求。